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1、机外壳接纳不锈钢SUS304材质制造 ，内胆为不锈钢316L质料制成;加热器匀称漫衍在内胆外壁周围 ，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。
2、钢化箱门闭合松紧能调理 ，整体成型的硅橡胶门封圈 ，确保箱内高真空度。
3、微电脑智能控温仪 ，具有设定 ，测定温度双数字显示和PID自整定功效 ，控温准确 ，可靠。
4、智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC� ？榭晒┯没局げ畋鹬瞥烫跫谋涑绦� ，温度 ，真空度及每一程序时间。
5、HMDS气体密闭式自动吸收添加设计 ，真空箱密封性能佳 ，确保HMDS气体无外漏记挂。
6、整个系统接纳质料制造 ，无发尘质料 ，适用100级光刻间净化情形。
